Siliziumkarbid-Auslegerpaddel
Produkt detailliert und Anwendung
Große Waferladekraft Siliziumkarbid-SiSiC / SiC-Auslegerpaddel / -träger ist für ein automatisches Lade- und Handhabungssystem eines Roboters geeignet, da es eine stabile Leistung, keine Verformung bei hohen Temperaturen und eine große Waferladekraft aufweist. Da der Abschnitt des Auslegerpaddels ohne Verformung stabil ist, ist es möglich, einen Wafer größerer Größe unter Verwendung vorhandener Ofenrohre herzustellen. Siliziumkarbid-SiSiC / SiC-Cantilever-Paddel / Träger mit großer Waferbeladungskraft kann auf LPVCD auf der Grundlage seines ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten mit LPVCD-Beschichtung aufgebracht werden, was den Wartungs- und Reinigungszyklus erheblich verlängert und die Schadstoffe erheblich reduziert.
Technische Parameter des reaktionsgebundenen Siliciumcarbids RBSIC:
| Artikel | Einheit | Daten |
| Anwendungstemperatur | ℃ | 1380 |
| Dichte | G / cm³ | > = 3,02 |
| Offene Porosität | % | <0,1 |
| Mohs Härteskala | 13 | |
| Biegefestigkeit | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Elastizitätsmodul | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Wärmeleitfähigkeit | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Der Wärmeausdehnungskoeffizient | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Säurebeständig alkalisch | Ausgezeichnet |
Eigenschaften:
ein. Es verformt sich bei hoher Temperatur nicht und die Waferbelastungskraft ist groß;
b. Hervorragende Wärmeschockbeständigkeit und lange Lebensdauer;
c. Der Wärmeausdehnungskoeffizient des Cantilever-Paddels ist extrem klein, was den Wartungs- und Reinigungszyklus erheblich verlängert.
und Schadstoffe drastisch reduzieren
Andere Ofenmöbel aus Siliziumkarbidkeramik
Neben dem reaktionsgesinterten SiSiC-Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid für die Waferbeladung stellen wir auch andere Ofenmöbel her, darunter RBSIC / SISIC-Siliziumkarbidträger, Düsenrohre, Spiraldüsenrohr, Dralldüsenrohr, oxidgebundene SIC-Siliziumkarbidmatten / Setterplatte und RBSIC-Kühlrohre .
Verschleißfeste RBSIC / SISIC-Siliziumkarbidprodukte
Da unser RBSIC / SISIC-Siliziumkarbidprodukt die Vorteile einer hervorragenden Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und langen Lebensdauer aufweist, kann es auch zu verschleißfesten Auskleidungen verarbeitet werden, die problemlos in Verarbeitungsrohre oder Zyklone eingebaut werden können.
